Modelagem matemática de sensores piezoresistivos baseados em filmes finos semicondutores

Autores

  • Alberto Moi
  • Rodrigo Moreira
  • Luiz Antonio Rasia

DOI:

https://doi.org/10.5540/03.2013.001.01.0106

Resumo

Este trabalho apresenta os estudos teóricos sobre a caracterização do efeito piezoresistivo em filmes finos semicondutores através do desenvolvimento de modelos matemáticos e simulações computacionais, visando desenvolver um Ambiente Integrado de Testes para simulação e otimização de parâmetros elétricos, térmicos e mecânicos usados nos processos de fabricação de sensores piezoresistivos integrados.

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Publicado

2013-10-17

Edição

Seção

Artigos