Modelagem matemática de sensores piezoresistivos baseados em filmes finos semicondutores

Abstract

Este trabalho apresenta os estudos teóricos sobre a caracterização do efeito piezoresistivo em filmes finos semicondutores através do desenvolvimento de modelos matemáticos e simulações computacionais, visando desenvolver um Ambiente Integrado de Testes para simulação e otimização de parâmetros elétricos, térmicos e mecânicos usados nos processos de fabricação de sensores piezoresistivos integrados.